عملية أكسدة كربيد السيليكون: الأكسدة والتليين والترسيب
عملية أكسدة كربيد السيليكون بسيطة. الركيزة كربيد السيليكونيمكن أن يتأكسد حراري ا بشكل مباشر للحصول على SiO2 على الركيزة. كربيد السيليكون هو مركب أشباه الموصلات الوحيد الذي يمكنه الحصول على SiO2 عالي الجودة من خلال ...